1101_微機電概論_日四技自四甲
上課期間：從 2021-09-13 到 2022-01-16
課程介紹
課程安排
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保護智慧財產權
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CH01-1
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CH02
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微機電概論-遠距教學說明
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1.0微機電加工的概論
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1-1微機電加工的定義
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1-1-1精密微加工的尺度範圍
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1-2技術發展歷程
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1.3微機電系統的特性
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1-4微機電加工的分類
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1-5產業應用
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1-5-1微型化-一個成功的策略
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1-5-2醫療保健的應用
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1-5-3醫療保健的應用
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1-5-4交通事業的發展
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1-5-5民生娛樂應用
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2-1超精密研磨加工-前言
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2-2研磨原理簡介
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2-3加工模式-2.3.1-1-2研削與磨削
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2.3.1-3依照加工方法分類
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2.3.1-4輪磨的加工模式
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2.3.1-5砂輪的加工模式
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2.3.1-6磨床的加工模式
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2.3.2晶圓的切割技術
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2.3.3線上磨輪削銳技術ELID.
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2.3.4-1CMP製成參數
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2.3.4-2CMP的研磨要求與目標
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2.3.4-3 影響CMP表面平坦的因素探討-1
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2.3.4-4 影響CMP表面平坦的因素探討-2
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CH03
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CH04
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CH05
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CH06
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CH07
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CH08
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CH09
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CH10
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CH15
教師 / 蔡建皇
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